言情小说网 > 其他类型 > 赤色军工,刚建国你就要造航母? > 第230章 鸡蛋清引发的良品率问题(2/4)
线条像被水晕开的墨迹,模糊成团。

    这就是所谓图案粘连。

    看完之后,周博没有说话,走到了光刻机的操作台前。

    暗暗在脑海中发出指令。

    “分析gk-1光刻机···”

    【叮!】

    【系统分析开始···】

    【光刻机型号:gk-1】

    【分析结果如下:】

    【1光源系统正常。

    2对准与调焦系统正常。

    3双工件台系统正常

    4掩模输运与定位系统正常···】

    系统分析完毕,光刻机一切正常。

    周博叹了一口气,心中也犯了难,问题出在什么地方呢?

    系统也不是万能的,现在要靠自己定位问题了。

    “大家有什么看法!”周博先询问众人的意见。

    姜明尚道:“每次都出现图案粘连,我还是怀疑光刻胶有问题。

    但是又查不出来!”

    周博点点头。

    现在他们所用的光刻胶,是从鸡蛋清里提取出来的,调配过程是周博经过多次实验确定下来的。

    一年多来,在电子厂车间产线上使用,从来没出过问题。

    之所以用鸡蛋清,多少有点无奈,光刻胶这东西虽然不起眼,但技术含量可不低。

    要从零开始批量制造,也是相当麻烦,所以周博才用了妥协的鸡蛋清方案。

    想了想,周博一时也难以确定问题所在,只好道:“把流程重新走一遍吧!”

    “好!”

    随即,众人取出一块晶圆片放入光刻机中,启动光刻工序。

    光刻机内,汞灯光源射出紫外光,透过自制透镜组,再透过掩膜版,将电路图案投射到涂有鸡蛋清光刻胶的晶圆上。

    在硅片表面刻画出比头发丝还要细千百倍的电路图案。

    周博出神地注视着光刻机,思维跟着工序流程快速思考。

    是振动问题?

    空气洁净度不够?

    热胀冷缩?

    脑海中不时蹦出一个个想法,但又随即否定···

    半个小时后,