线条像被水晕开的墨迹,模糊成团。
这就是所谓图案粘连。
看完之后,周博没有说话,走到了光刻机的操作台前。
暗暗在脑海中发出指令。
“分析gk-1光刻机···”
【叮!】
【系统分析开始···】
【光刻机型号:gk-1】
【分析结果如下:】
【1光源系统正常。
2对准与调焦系统正常。
3双工件台系统正常
4掩模输运与定位系统正常···】
系统分析完毕,光刻机一切正常。
周博叹了一口气,心中也犯了难,问题出在什么地方呢?
系统也不是万能的,现在要靠自己定位问题了。
“大家有什么看法!”周博先询问众人的意见。
姜明尚道:“每次都出现图案粘连,我还是怀疑光刻胶有问题。
但是又查不出来!”
周博点点头。
现在他们所用的光刻胶,是从鸡蛋清里提取出来的,调配过程是周博经过多次实验确定下来的。
一年多来,在电子厂车间产线上使用,从来没出过问题。
之所以用鸡蛋清,多少有点无奈,光刻胶这东西虽然不起眼,但技术含量可不低。
要从零开始批量制造,也是相当麻烦,所以周博才用了妥协的鸡蛋清方案。
想了想,周博一时也难以确定问题所在,只好道:“把流程重新走一遍吧!”
“好!”
随即,众人取出一块晶圆片放入光刻机中,启动光刻工序。
光刻机内,汞灯光源射出紫外光,透过自制透镜组,再透过掩膜版,将电路图案投射到涂有鸡蛋清光刻胶的晶圆上。
在硅片表面刻画出比头发丝还要细千百倍的电路图案。
周博出神地注视着光刻机,思维跟着工序流程快速思考。
是振动问题?
空气洁净度不够?
热胀冷缩?
脑海中不时蹦出一个个想法,但又随即否定···
半个小时后,