先或者超越,只能说先达到够用的程度再说!
其实,一开始我们的光刻机起步并不晚,甚至还很早。
在六十年代的时候,科学院就研制出了,我们第一台国产的光刻机。那时候,只有种花和鹰酱,两个国参与了这一制造过程。
七十年代就生产出了接触式光刻机,80年我们的光刻机精度,就达到了3微米,基本一直贴近国际主流水平。
后来的倭国、寒国,在那时连这个想法都没有呢。未来独霸天下的阿斯麦,更是没影的事。
到了八十年代中期,就更了不得了,自动接近式光刻机研制成功了,分步投影式光刻机生产出来了,光刻光源甚至已经达到了193纳米。
这一技术,仅比国际上最领先的,落后了四五年的时间,更是遥遥领先着阿斯麦。可以说,当时在光刻机技术上,咱们谁也不怵!
然而,很可惜,光刻机的研发,也就到此为止了。
所有人都以为我们的、光刻机的辉煌征途刚刚开始,但谁也没想到,在那之后就开始陷入长达二十多年的落寞。
断了光刻机的自主研发之路,原因只有一个字:“穷”!