三重曝光，四重曝光，甚至五重曝光。
当然，2011年nxt1980di还没有发布。
而当下的1950i估计会便宜一些。
比如尼康的nsr-s620d和阿斯麦的1950i，性能差不了多少，多重曝光后也可以做10-28n，甚至7n。
使得中芯国际的28n工艺大规模量产，能满足大多数芯片需求。
阿斯麦不但在duv光刻机领域独领风骚，而且开始发力euv光刻机，进军7n以下的制程。
不过老款的1950i运作一下，还是有希望的。
当然，不能只压阿斯麦，小日子那边也得看看。
可7n制程，就要用nxt1980di四重曝光，技术方面梁老都能解决，但良品率和成本就不好说了。
20台就是70亿！
为什么一次性进这么多？还不是怕做大了被锤！
果然，一台1950i光刻机要4000万欧元，5470万美元，也就是35亿人民币。
14n需要三重曝光，凭借梁老的技术，良品率和成本也能保证。
哪怕溢价买，都不成问题！
幸好梁老能力突出，在多重曝光领域造诣颇深，硬是推出n+1、n+2工艺，用nxt1980di这种落后的光刻机，实现了14n、10n，甚至7n。
最初，台积电用nxt:1980di来制造7n芯片，效果很不理想，良品率低，成本高，最后还是换上euv光刻机，才实现了完美的7n。
同样，要用nxt:1980di来制造14n、7n的芯片，那就得靠多重曝光技术，对厂家的技术要求非常高，量产芯片的成本也很高。
巧妇难为无米之炊。
当然趁着当下风头不紧，抓紧多进一些！
这样后续产能扩大，都够用，一直用到2018年1980di都不再禁售。
进上十台，就是35亿。
而尼康还在苦苦坚持，高端领域没希望，可是中低端领域还是没问题的。
后续的nxt：1960bi、1970ci、1980di，不过是在nxt：1950i