进行了部分升级,提高了良品率和精度,本质上相差不大。
为此,王逸拿出手机,开始查数据。
梁老的两重曝光技术,不但把中芯国际的28n良品率从50提到了90以上,成本也不会增加太多。
原本光刻机三巨头阿斯麦,尼康,佳能。
不过,在国产光刻机突破之前,这也是迫不得已的办法。
只要不量产7n,都没压力。
其实1950i/1960bi/1970ci/1980di,这四款光刻机都是同样的光源系统,单次曝光都在38n以上,多重曝光都能生产28n、16n、14n、12n,甚至7n。
而且价格更便宜,只要3000万美元。
当下欧美对国内的封锁限制,还不是那么严密。
nxt1980di原本用于制造300n-38n制程,二重曝光后可以达到19n制程。
王逸当下能买到的光刻机型号,是2009年推出的nxt:1950i,和今年刚推出的nxt:1960bi。
但今年刚出的1960bi不太现实,估计阿斯麦不卖。
英特尔当下的订单,都是以尼康nsr-s620d为主,少量阿斯麦1950i。
同样,王逸也可以两边押注。
若是阿斯麦出货不多,进展不顺利,尼康这边也完全能用。
直到7n以下,尼康才彻底掉队的。
28-10n,尼康还是可以一战的。
王逸有了计较,等芯片工厂这事稳了,得找时间去一趟尼康和阿斯麦,谈一下光刻机订单。
这种订单不是下单了就有货的,相反,都是提前一年订。
王逸现在订货,明年到货就不错了。
届时,正好芯片工厂也差不多建好了,直接设备入驻,然后安装调试,顺利的话,后年就能量产芯片了。
当然,就怕不顺利!
毕竟当下要买阿斯麦的光刻机,阿斯麦都会提前派一支考察团队,前来考察。
再综合评定半导体企业的规模,产能,资金状况之后,才会出货。
一般的小企业,新企业,阿斯麦根