经过专业测试后就拆解了！
经过大量测试，兆光株式会社的工程师们得到了这台光源的详细数据。
“工作物质 arf
波长（n） 193
最大重复频率（hz） 200 500 1000
稳定脉冲能量（j） 6
稳定脉冲功率（w） 12 30 60
能量稳定性（siga，） 2
光束尺寸（fwh，v x h ）6x3
光束发散（fwh，v x h rad）2x1
脉宽（fwh）（ns） 5-10 5-10 5-10”
他们最后得到的结论就是这台光源具有“坚固设计、电晕预电离、固态电路、管道技术、激光能量监测、紧凑型准分子激光器，单相电、高可靠性、均匀光束轮廓、即时可用，无老化、全金属密封管、数十亿脉冲的超长寿命激光能量稳定、易于操作，易于集成”这些技术优点。
松目一根得知了结果之后问研发部门的负责人栗山泰三：“栗山君，我们能仿制出这台193n波长的arf氟化氩准分子激光光源吗？”
栗山泰三摇了摇头：“目前还不行，有些技术我们也需要时间消化吸收！”
松目一根问道：“那你估计需要多长时间？”
栗山泰三默默的估算了一下说道：“最快也需要一年左右的时间，这还是一切顺利的情况下，如果中间出现问题，时间还会往后顺延！”
松目一根哀叹道：“那就太迟了，如果我们不能尽快的得到这项技术，我们会失去很多客户的，到那个时候我们就只有破产了！”
而尼康跟佳能也分别从华虹采购了一台光源，尼康跟佳能分别进行整机组装，用组装出来的光刻机进行一些技术测试。
而安装了193n波长的arf氟化氩准分子激光光源的尼康光刻机，经过流片测试，最大精度可以达到惊人的165纳米，这是目前尼康取得的最好精度了。
尼康随即就向华虹公司发出了订单，要求订购这款光源，而不久之后佳能也同样向华虹下了二十台光源的订单！
大量的订单出现让华虹的总经理乔栋才又喜又忧