头,巡逻一圈,发现没什么问题后,下指示开始。
单晶硅棒生长较慢,按照公司的1000kw单晶炉,生长2米长,一共5根单晶棒,单炉生产周期就要25天。
郝强在现场观察了半个小时,看到数据稳定后就离开了。
要出结果,那得第三天了。
时间缓缓流逝,很快到了1月23日。
在当天上午,第一炉已经结束,但要冷却后才取料。
下午五点钟时,检测结果终于出炉,郝强心潮澎湃地迈入晶圆机加工车间。
“董事长,刚切割了三片晶圆,研磨之后,测试结果已达到设计要求。”负责跟踪晶圆加工的张铭看到董事长到来,便迫不及待地汇报,声音中难掩兴奋之情。
其他科研人员看到董事长到来,也凑过来听一下。
郝强从一名测试人员手里接过测试结果数据,目光如炬。
在纯度方面,已经达到了11n,的确达到了设计要求。
14n制程芯片,通常需要9n或更高纯度的单晶硅。
而纯度达到了11n,已经满足3n制程芯片。
在韧性、晶向、电阻率、缺陷密度等技术标准,也达到了要求。
如果有一样达不到要求,那就是这个晶圆不合格,直接报废。
看完数据后,郝强戴起手套,轻轻捧起一片经过研磨的12英寸晶圆片,厚度约1毫米,表面熠熠生辉。
通常来说,775μ是12英寸晶圆的标准起始厚度,留多一些加工余量也是可以的,但不宜过多。
这薄薄一片晶圆,凝聚了数百人团队无数日夜的心血和汗水。
“现在我们只是试制,如果批量生产达到这个数据的话,的确符合条件了。”郝强沉稳地说道,但眼中却难掩欣慰之色,“总的来说,单晶炉及生产线,我们算是研制成功了,而且达到了世界顶尖技术水平,大家辛苦了,恭喜大家。
接下来,要继续找问题,不断优化。”
这番话如同一股暖流,瞬间点燃了在场所有人的热情。
掌声如雷,在车间内久久回荡。
这个项目的核心技术主要靠董事长解决,似乎这么牛比的技