,想要苛求加工参数完全达标,几乎不可能。其中影响最大的,就是作为核心设备的光刻机。
姜安平亲自动手,使用专用夹具,将光刻完的几十片硅晶圆装进专用容器,拿去芯片生产线那边,去进行后续的刻蚀、离子注入、薄膜沉积、化学机械研磨等步骤。
两个多小时之后,所有工序走完,几十片硅晶圆,变成了一千多枚封装完成的ar1芯片。刘焱、乌光辉、姜安平等高管和研发人员,开始动手对这批芯片进行全面测试。
半小时后,所有芯片测试完成,姜安平对测试结果进行了汇总,最后宣布道:
“此次我们自主研发的一微米光刻机测试,共选用了35片硅晶圆,加工过后,切割封装成1750枚芯片。
经过全面测试,合格产品共1203枚,合格率为687。
也就是说,咱们光刻机研发实验室生产的第一台一微米光刻机,第一次开机测试生产,就成功了,并且合格率已经达到了晶圆工厂内现有几台j能和n康光刻机的加工水平。”
听完姜安平的发言,刘焱带头鼓掌,其他维创电子告诉的高管和研发人员,以及其他负责封装测试的员工紧随其后,现场爆发出一阵热烈的掌声。
在场观摩的维创电子公司员工们都在七嘴八舌的讨论着: