雕刻东西,花样要精细,刀尖就得锋利,但是要如何把193n的光波再“磨”细呢?大半个半导体业界都参与进来,分成两队人马跃跃欲试:
n康等公司主张用在前代技术的基础上,采用157n的 f2激光,走稳健道路。
而新生的euv llc联盟则押注更激进的极紫外技术,用仅有十几纳米的极紫外光,刻十纳米以下的芯片制程。
但技术都已经走到这地步,不管哪一种方法,做起来其实都不容易。
这时候tjd一个叫做林本坚的鬼才工程师出现了:
降低光的波长,光源出发是根本方法,但高中学生都知道,水会影响光的折射率——在透镜和硅片之间加一层水,原有的193n激光经过折射,不就直接越过了157n的天堑,降低到132n了吗!
林本坚拿着这项“沉浸式光刻”方案,跑遍米国、德国、东瀛等国,游说各家半导体巨头,但都吃了闭门羹。甚至有某公司高层给tjdo蒋尚义捎了句狠话,让林本坚不要再搅局了。
毕竟这只是理想情况,在精密的机器中加水构建浸润环境,既要考虑实际性能,又要操心污染。如果为了这一条短期替代方案,耽误了光源研究,吃力不讨好只是其次,被对手反超可就不好看了。
于是,n康选择了在157n上一条道走到黑,却没意识到背后有位虎视眈眈的搅局者。
当时尚是小角色的a斯麦决定赌一把,相比之前在传统干式微影上的投入,押注浸润式技术则更有可能以小博大。
于是就和林本坚一拍即合,仅用一年时间,就在2004年就拼全力赶出了第一台样机,并先后夺下ib和tjd等大客户的订单。
n康晚了半步,很快也就亮出了干式微影157n技术的成品,但毕竟被a斯麦抢了头阵,更何况波长还略落后于对手。
等到一年后,n康又完成了对浸润式技术的追赶,可是客户却已经不承认“老情人”,毕竟gkj又不是小朋友玩具,更替要钱,学习更要成本。
其实早于1997年,在米国政府一手干预下,当n康被euv llc排挤在外时,就已经注定了如今gkj市场一家独大的结局。
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